鐳測科技公司經過7年的研發，在國內研究成功可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器，并實現批量生產。這一成果終結了我國50年靠玻璃吹制氦氖激光器的歷史，有力推動我國高端激光儀器的發展。

 　　清華大學教授、鐳測科技公司顧問張書練表示，氦氖激光器是氣體激光器的一種，是氣體激光器中最先研發問世的產品類型。氦氖激光器是以中性原子氣體氦和氖為工作物質、由放電管和光學諧振腔構成的激光器，可輸出連續激光。氦氖激光器工作在可見光與紅外光頻段，可輸出綠光543.5nm、紅光632.8nm、紅外光1.15μm和3.39μm等多種波長。其中，紅色波長632.8nm在氦氖激光器家族中有獨一無二的品質，應用最廣泛。波長632.8nm氦氖激光束質量高、光束橫截面上光強度非常接近完美的高斯分布，非常小的發散角，傳播百米后光斑直徑還保有幾毫米大小；輸出功率穩定，噪聲非常低；有天然的頻率（波長）穩定點，波長穩定性可以非常高，可以做到1小時時間內632.8nm僅漂移百萬甚至億分之一；造價低，可靠性高，一致性好互換性強等。

 　　張書練指出，氦氖激光器在儀器儀表、精密測量方面應用廣泛，很難替代。國內外的單頻干涉儀，雙頻干涉儀，面型干涉儀，測振儀，橢偏儀，激光陀螺儀等都采用氦氖激光器做光源，這些儀器是精密機床、光刻機、航空、航天、機械和光學加工，薄膜技術等領域精度的保證。我國這些產業向高端發展的速度加快，市場對相關儀器的需求將持續增長，將會拉動我國對可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器需求規模不斷擴大。

 　　根據某研究中心發布的《2022-2026年氦氖激光器行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，2021年，全球氦氖激光器市場規模約為0.74億元；預計2021-2026年，全球氦氖激光器市場將以4.2%左右的年均復合增速增長，到2026年市場規模將達到0.91億元左右。在全球市場中，氦氖激光器生產商主要有美國Lumentum Operations、美國Melles Griot（被Pacific Lasertec收購）、美國Thorlabs、美國Excelitas Technologies、德國Lasos、德國Phywe、日本Neoark。

 　　張書練表示，多年來，我國依賴玻璃吹制技術生產氦氖激光器（管），激光器之間一致性較差，穩定性不佳，不能達到各類激光儀器的應用要求。過去幾十年，雖然國內也有對可伐-玻璃組裝式（無吹制）氦氖激光器進行了研究，但沒有堅持下來，也曾引進了一條國外（裝配）生產線，運行幾年，終因沒有自己元器件供應鏈，沒有自己的工藝被迫停產。激光儀器儀表儀器裝配的氦氖激光器都從國外購買，因為容易頻率突跳或不出雙頻振蕩，淘汰率很高。

 　　鐳測科技自主研發的可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器用已成批用于雙頻激光干涉儀上和光刻機的失效激光器替換。用作雙頻激光器時，激光功率可以達到1.3mW以上，激光頻率差可選定3MHz、7MHz、10 MHz、20 MHz，或更大，這是國內外以前很少實現的。此外，之前，不論是單頻還是雙頻激光干涉儀，國產還是國外購買，各型號都有幾納米甚至十幾納米的非線性誤差，可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器作光源的雙頻激光干涉儀非線性誤差不大于1納米。開國內可伐-玻璃組裝式氦氖激光器之先，吹制工藝或成歷史；解大頻差和高功率不可得兼之難，對我國激光技術及精密測量領域的應用創新與產業變革具有重大意義。

[來源：中國青年網、人民網]

http://scitech.people.com.cn.sevu.nl/n1/c41163-316667.html

相關應用：

雙頻激光器，雙頻激光干涉儀，單頻激光器，單頻激光干涉儀