激光干涉儀以光波為載體，測量精度高，測量速度快，測量范圍大，其光波長可直接定義為米，并可追溯到標準。所以激光干涉儀廣泛應用于數控機床，精密儀器等精密儀器的質量控制和校準，以及科研開發、設備制造等領域。

激光干涉儀的工作原理

       激光干涉儀發射單頻光束，光束進入線性干涉鏡后，將光束分成兩束，然后反射回分光鏡，然后再次收集回激光干涉儀。如果不改變光程差，則在激光干涉儀和相消性干擾的兩極之間找到穩定的信號。如果光程差發生變化，將計算并用于測量兩個光程之間的差異。

當高壓連接到陽極和陰極時，激發混合氣體形成激光束，一些光通過放大激光強度傳輸到輸出激光束。其中，為了達到平衡，激光管的長度由加熱器控制，以保持激光頻率的穩定精度±0.05ppm此時，激光器可以在輸出穩定后進行干涉測量。現在大多數現代位移干涉儀器都使用氦霓虹燈(HeNe)激光管輸出633納米波長。

激光干涉儀的頻率、功率、穩定性、可靠性、光束質量和使用壽命都與激光干涉儀的性能有關。激光干涉儀的測量精度是激光干涉儀Z的基本參數，其頻率(波長)的準確性和穩定性是保證。