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雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。傳統(tǒng)單頻激光干涉儀采用單頻技術(shù)，容易受到外界環(huán)境干擾，微小的空氣湍流都會引起直流電平變化從而影響測量結(jié)果，這是單頻干涉儀的一個根本弱點(diǎn)。在測試環(huán)境惡劣或測量距離較長時，這一缺點(diǎn)十分突出，而雙頻激光…[詳情]

2023年SEMICON China半導(dǎo)體展會將于6月29日-7月1日在上海新國際博覽中心如期舉行，北京鐳測科技有限公司攜眾多半導(dǎo)體行業(yè)雙頻激光干涉儀產(chǎn)品及行業(yè)解決方案參與展會，邀您共赴上海！ 展會名稱 ：SEMICON CHINA 2023 時 間 ：2023年6月29日-7月1日 地 點(diǎn)…[詳情]

展位號：11 9 — 公司簡介 — — 參展產(chǎn)品 — 01LH1000↓↓↓[詳情]

激光干涉儀是當(dāng)今納米時代的長度基準(zhǔn)，也是先進(jìn)制造業(yè)（機(jī)床、光刻機(jī)，航空、航天等）制造精度的保證。激光干涉儀的“激光”是HeNe激光器。鐳測科技研究成了“可伐-玻璃組裝式”結(jié)構(gòu)的HeNe激光器，打破了我國靠玻璃吹制HeNe激光器的歷史。這一長期堅(jiān)持的研究打通了單頻氦氖激光器→雙折射…[詳情]

1、平面度 平面測量是在角度測量的基礎(chǔ)上做的延伸，利用角度測量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉(zhuǎn)化為高度的變化，按照對角線的方法測量出平臺上不同位置的高度變化值，就可以得到整個平臺的平面度。 [詳情]

1、角度測量原理 角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個相對旋轉(zhuǎn)。相對旋轉(zhuǎn)后，會導(dǎo)致角度測量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會被激光干涉儀探測器探測出來，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來。激光干涉儀角度鏡能實(shí)現(xiàn)±1…[詳情]

1、直線度測量原理 雙頻激光測頭輸出光經(jīng)過直線度干涉鏡，按偏振態(tài)被分成兩束，以一定角度發(fā)散后入射到直線度反射鏡。光束從直線度反射鏡返回，沿新光路回到直線度干涉鏡后，合成一束回到光線接收端，進(jìn)行干涉測量。通過檢測光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導(dǎo)軌相對于激…[詳情]

1、垂直度測量原理 垂直度測量的主要采用同一個測量基準(zhǔn)軸對兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)中的每一個軸測量直線度。對兩個直線度測量值進(jìn)行比較，算出兩個軸之間的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)是直線度反射鏡的光學(xué)基準(zhǔn)軸。需要注意的是，兩次測量直線度之間既不移動也不調(diào)整。兩次直線度測量過程中至少一…[詳情]